提供接触角测量仪、大气等离子清洗机、真空等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、微波等离子清洗机、USC干式超声波除尘清洗机、离子静电消除装置等一站式服务设备
适用于面积较大、形状复杂的材料清洗,可搭配多路工艺气体,根据行业需求可定制真空等离子流水线设备。
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SPR-08是一款基于电感耦合等离子体技术的自成一体的原子发生器,它的功能是用于半导体设备工艺腔体原子级别的清洁,使用工艺气体三氟化氮(NF3)/O2,在交变电场和磁场作用下,原材料气体会被解离,从而释放出自由基,活性离子进入工艺室与工艺室上沉积的污染材料(SIO/SIN)或者残余气体(H2O、O2、H2、N2)等物质产生化学反应,聚合为高活性气态分子经过真空泵组抽出处理腔室,提高处理腔室内部洁净度。
针对汽车内饰件制程中植绒、包覆工艺前,通过金年会真空等离子进行表面处理,可有效提升PP等材料的表面活性,使其更易与包覆材料结合,从而提高包覆的牢固度和耐久性。
在线片式真空等离子清洗机主要用于半导体行业引线框架表面清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强附着性能。
自由基分子的等离子体无偏压,不会对产品有电性损坏,去胶速率快
半导体行业专用RF在线片式真空清洗机,PLASMA处理在线片式等离子处理系统
专为面积较大、形状复杂的材料进行表面改性处理,是实现清洁、改性、刻蚀功效的理想选择